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                    技術支持
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                    談談白光干涉儀與激光干涉儀的區分

                    發表時間:2021-08-06  |  點擊率:358
                       白光干涉儀是以白光干涉技術為原理,光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被測表面反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
                      白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
                      對于激光干涉儀,我們根據其原理可以清楚知道它是用來檢測設備的運動精度的,激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設備、機器人等領域廣泛應用。
                      激光干涉儀測量利用邁克爾遜干涉原理:
                      1.從激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);
                      2.兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;
                      3.角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。
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