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                    表面輪廓儀的三類校準方式探討

                    發表時間:2020-10-21  |  點擊率:673
                       光學輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌的3D測量的光學檢測儀器。
                      為能準確地表征表面形貌,光學輪廓儀需要進行一系列校準標定流程:
                      1.3D(三維)形貌校準
                      這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關,所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定;以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。
                      2.2D(二維)光強校準
                      這一校準和成像視場范圍內的“光強”信號相關。輪廓儀有一些功能,可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下,可以自動去除視場中黑白條紋,更清楚地觀測表面紋理;真彩模式可以復現表面彩色信息。
                      由于以上功能相關標定都只涉及“光強”,不涉及到形貌高度,所以稱為二維光強校準。
                      3.橫向校準
                      這一校準是為了標定在當前設置下,每個像素在橫向上代表的尺寸大小。
                      光學輪廓儀的很多測試結果和分析設置,如溝槽寬度,孔徑尺寸,坡度斜率,空間濾波,拼接測量,都基于或和橫向尺寸相關。對于這些結果和分析,橫向尺寸的標定是至關重要的。
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